[发明专利]对准方法以及对准装置

摘要

提供一种能够进行高精度的对准的、实用性优异的对准方法。当进行基板(12)与掩模(11)的对准时，使用由低摄像倍率的第1摄像部(13)进行摄像而得到的摄像数据，定位高摄像倍率的第2摄像部(14)，以该第2摄像部(14)的摄像范围为基准，按照第1对准工序和第2对准工序这两个阶段进行基板(12)和掩模(11)的位置校正，其中，所述第1对准工序是使用由第1摄像部(13)进行摄像而得到的摄像数据来进行的，所述第2对准工序是使用由第2摄像部(14)进行摄像而得到的摄像数据来进行的。

主权项

一种对准方法，其特征在于，包括：掩模保持工序，将掩模保持在掩模台上；第1摄像工序，利用第1摄像部对设在所述掩模上的位置检测用的第1标记进行摄像；第1移动工序，根据所述第1摄像工序中得到的摄像数据获得所述第1标记的位置信息，基于该第1标记的位置信息使摄像倍率高于所述第1摄像部的第2摄像部移动，以使设在所述掩模上的位置检测用的第2标记位于所述第2摄像部的摄像范围内；基板保持工序，将基板保持在基板架上；配置工序，将所述掩模与基板配置成隔着间隔重合；第2摄像工序，利用第1摄像部对设在所述掩模上的位置检测用的第1标记和设在所述基板上的位置检测用的第3标记同时进行摄像；第1对准工序，根据所述第2摄像工序中得到的摄像数据获得所述第1标记及所述第3标记的位置信息，基于该第1标记及第3标记的位置信息使所述基板与所述掩模相对移动；第3摄像工序，利用所述第1移动工序中移动后的所述第2摄像部，对所述第2标记和设在所述基板上的位置检测用的第4标记同时进行摄像；第2对准工序，根据所述第3摄像工序中得到的摄像数据获得所述第2标记及所述第4标记的位置信息，基于该第2标记及第4标记的位置信息使所述基板与所述掩模相对移动；以及紧贴工序，在所述第2对准工序之后，使所述基板与所述掩模紧贴，使用通过由摄像倍率低于所述第2摄像部的第1摄像部进行摄像的所述第1摄像工序得到的摄像数据，来通过所述第1移动工序对高摄像倍率的所述第2摄像部进行定位，以定位后的所述第2摄像部的摄像范围为基准，按照所述第1对准工序和所述第2对准工序这两个阶段进行所述基板和所述掩模的位置校正。