[发明专利]含酚羟基的化合物、感光性组合物、抗蚀剂用组合物、抗蚀剂涂膜、固化性组合物、抗蚀剂下层膜用组合物、及抗蚀剂下层膜

摘要

本发明提供耐热性优异的含酚羟基的化合物；耐热分解性、感光度以及分辨率优异的抗蚀剂用组合物；以及耐热分解性和干蚀刻耐性优异的抗蚀剂下层膜用组合物。一种含酚羟基的化合物，其特征在于，具有下述结构式(1)表示的分子结构。(式中，R1为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任一种，m为0～4的整数。m为2以上时，多个R2任选各自相同或不同，并任选与萘骨架的2个芳香环之中的任意一个键合)。

主权项

一种含酚羟基的化合物，其特征在于，具有下述结构式(1)表示的分子结构，式(1)中，R1为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数，R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任一种，m为0～4的整数，m为2以上时，多个R2任选各自相同或不同，并任选与萘骨架的2个芳香环之中的任意一个键合。