[发明专利]用于制备纳米涂层粒子的流化床原子层沉积设备在审
| 申请号： | 201480040383.3 | 申请日： | 2014-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN105392918A | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 李在永;郑尚淏;李在光;朱亨国;金镇园 | 申请（专利权）人： | 光州科学技术院 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 谢鑫;肖冰滨 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了用于制备纳米涂层粒子的流化床原子层沉积设备。根据本发明的一实施例的流化床原子层沉积设备，其特征在于，包括：流化床反应器，其内部注入被涂覆粒子；反应物供给单元，其向所述流化床反应器的内部供给用于对所述被涂覆粒子进行涂层的反应气体；及振动泵，其结合于所述流化床反应器使得将所述反应气体能够通过所述振动泵，向所述反应气体施加有规则的振动而在所述流化床反应器的内部形成湍流。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 纳米 涂层 粒子 流化床 原子 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种流化床原子层沉积设备，其特征在于，包括：流化床反应器，其内部注入被涂覆粒子；反应物供给单元，其向所述流化床反应器的内部供给反应气体，该反应气体用于对所述被涂覆粒子进行涂层；及振动泵，结合于所述流化床反应器使得将所述反应气体通过所述振动泵，其向所述反应气体施加有规则的振动而在所述流化床反应器的内部形成湍流。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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