[发明专利]用于制备多晶硅的方法在审
| 申请号： | 201480035722.9 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN105339302A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 米夏埃尔·克舍尔;赖纳·佩什;阿明·桑德纳 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;G01N29/00;G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张英;宫传芝 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于制备多晶硅的方法，包括：在位于至少一个反应器中的支撑体上沉积多晶硅，其结果是获得多晶硅棒，从至少一个反应器中形成多晶硅棒，将形成的多晶硅棒粉碎成段，特征在于在从至少一个反应器中形成多晶硅棒之后，并且在将形成的多晶硅棒成粉碎成段之前，以棒形式存在的多晶硅参照至少一种特征分类为至少两种质量类别，将每一至少两种质量类别发送至单独的进一步的加工步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 多晶 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生产多晶硅的方法，包括在存在于至少一个反应器中的支撑体上沉积多晶硅以获得多晶硅棒，从所述至少一个反应器拆卸所述多晶硅棒，将拆卸的所述多晶硅棒破碎成块，其中，在从所述至少一个反应器拆卸所述多晶硅棒之后，以及在将拆卸的所述多晶硅棒破碎成块之前，棒形式的所述多晶硅基于至少一种特征分类为至少两种质量类别，将所述至少两种质量类别发送至单独的进一步加工步骤。
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