[发明专利]固体摄像装置

摘要

本发明提供一种背面照射型固体摄像装置，该装置增大光电二极管的存储电荷量，简化层叠型光电二极管的读出路径。通过使背面照射型固体摄像装置的光电二极管为存储门结构，从而增加存储电荷量和灵敏度。另外，在入射光方向设置将光电二极管分离的屏障区域，以对存储门施加的脉冲电压，控制屏蔽区域的屏蔽高度，从而控制在入射方向分离的层叠型光电二极管间的信号电荷的输送，简化层叠型光电二极管的读出。根据该结构，可以不降低集成度而进行全局快门，不使用滤色镜而改变光电二极管的光谱特性，改善S/N。

主权项

1.一种背面照射型固体摄像装置，矩阵状地配置着存储有被光电转换出的信号电荷的层叠型光电二极管，包括：MOS型的存储门，背面照射型固体摄像装置中，在入射光的相反侧露出的光电二极管上部通过绝缘膜而被形成；层叠型光电二极管，在入射光正交的面方向进行延伸，并且通过与所述光电二极管的相反导电类型的杂质区域而分离，成为存储门侧的第1光电二极管和入射光面侧的第2光电二极管的双层结构；与所述存储门相邻而形成的转移门；所述层叠型光电二极管通过对所述存储门施加脉冲电压，从而在所述层叠型光电二极管间转移信号电荷；其中，所述第1光电二极管被配置为从所述第2光电二极管独立地存储信号电荷。