[发明专利]物体保持装置及制造物体保持装置的方法有效
| 申请号： | 201480018352.8 | 申请日： | 2014-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN105103052B | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | R·拉法尔;S·阿成达;M·菲利皮;Y·卡拉第;A·尼里森;R·范德威克;H·C·M·范多瑞梅伦;W·威尔特斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造用在光刻设备中的物体保持装置(100)的方法，所述物体保持装置包括一个或多个电功能部件，所述方法包括使用包括承载板(20)和分层结构的复合结构，所述承载板与物体保持装置的主体(100a)不同，所述分层结构包括一个或多个层(22)并且形成在承载板上；将复合结构连接到主体的表面上，使得分层结构位于承载板和主体的所述表面之间；以及从复合结构上移除承载板，留下与主体连接的分层结构。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 保持 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造用在光刻设备中的物体保持装置的方法，所述物体保持装置包括一个或多个电功能部件，所述方法包括：使用包括承载板和分层结构的复合结构，所述承载板与物体保持装置的主体不同，所述分层结构包括一个或多个层并且形成在承载板上；将复合结构连接到主体的表面上，使得分层结构位于承载板和主体的所述表面之间；以及从复合结构上移除承载板，留下与主体连接的分层结构。
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