[发明专利]用于卤化物驱气的处理系统及方法

摘要

提供用于控制湿气污染物造成的工艺缺陷的系统、腔室及工艺。系统可提供用于腔室的配置以在真空或受控环境中施行多项操作。腔室可包括组合腔室设计中的配置以提供附加处理功能。方法可提供对老化缺陷的限制、防止及修正，该等老化缺陷可由系统工具施行的蚀刻工艺造成。

主权项

一种基板处理系统，所述基板处理系统包含：数个固持腔室；数个装载腔室，所述数个装载腔室经配置以接收基板至真空环境中；界面段，所述界面段具备至少两个界面转移装置，所述界面转移装置经配置以在所述数个固持腔室与所述数个装载腔室之间输送基板，所述数个固持腔室在所述界面段的第一位置处与所述界面段耦接，所述数个装载腔室在所述界面段的第二位置处与所述界面段耦接，所述界面段的第二位置与所述数个固持腔室相对；处置腔室，所述处置腔室定位为与所述装载腔室中的至少一者垂直对齐，且与所述数个装载腔室中的至少一者耦接；数个处理腔室；及工艺转移装置，所述工艺转移装置经配置以在所述数个装载腔室中的任一者与所述数个处理腔室中的任一者之间输送基板，同时将所述基板维持在真空条件下，其中所述工艺转移装置可进一步经配置以垂直于所述处置腔室输送基板。