[实用新型]自动上下料机构及自动换料机构有效
| 申请号： | 201420852905.7 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN204289413U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;高峰;李素华;崔永鑫 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动上下料机构及自动换料机构，该自动上下料机构包括：第一直线运动单元；第一旋转单元，与所述第一直线运动单元连接并随所述第一直线运动单元直线运动；固定装置，沿所述第一直线运动单元的旋转轴周向设置，用以固定料盘；所述第一旋转单元的旋转轴的轴向与所述第一直线运动单元的运动方向垂直。第一旋转单元带动固定装置旋转，从而进行相应的下料或上料动作。整个过程自动完成，能够很好的控制更换时间，使得产品能够连续生产，提高效率。并且在生产过程中，无人工接触，降低产品污染概率，产品良率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 上下 机构 | ||
【主权项】：
一种自动上下料机构，其特征在于，包括：第一直线运动单元；第一旋转单元，与所述第一直线运动单元连接并随所述第一直线运动单元直线运动；固定装置，沿所述第一直线运动单元的旋转轴周向设置，用以固定料盘；所述第一旋转单元的旋转轴的轴向与所述第一直线运动单元的运动方向垂直。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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