[实用新型]自动上下料机构及自动换料机构有效
| 申请号： | 201420852905.7 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN204289413U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;高峰;李素华;崔永鑫 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自动 上下 机构 | ||
1.一种自动上下料机构，其特征在于，包括：
第一直线运动单元；
第一旋转单元，与所述第一直线运动单元连接并随所述第一直线运动单元直线运动；
固定装置，沿所述第一直线运动单元的旋转轴周向设置，用以固定料盘；
所述第一旋转单元的旋转轴的轴向与所述第一直线运动单元的运动方向垂直。
2.根据权利要求1所述的自动上下料机构，其特征在于，所述固定装置包括：
固定板，沿所述第一直线运动单元的旋转轴周向设置；
若干个料盘固定件，设置在所述固定板的外缘上，用以固定料盘。
3.根据权利要求1所述的自动上下料机构，其特征在于，所述第一直线运动单元包括第一气缸和导轨，所述第一气缸的自由端与所述第一旋转单元固定连接，并带动所述第一旋转单元沿所述导轨直线运动。
4.根据权利要求2所述的自动上下料机构，其特征在于，所述料盘固定件包括固定支架和卡爪，所述固定支架设置在所述固定板的外缘上，所述卡爪设置在所述固定支架上。
5.根据权利要求2所述的自动上下料机构，其特征在于，所述料盘固定件的数量为四个，其沿着固定板的边均匀分布。
6.根据权利要求1所述的自动上下料机构，其特征在于，所述第一旋转单元为第一电机。
7.一种自动换料机构，其特征在于，包括：
贴附机构；以及
权利要求1-6中任一项所述的自动上下料机构；
所述自动上下料机构与所述贴附机构相对设置，所述贴附机构包括第二直线运动单元和第二旋转单元。
8.根据权利要求7所述的自动换料机构，其特征在于，所述第二直线运动单元包括第二气缸和挡板，所述挡板设置在所述第二气缸的自由端。
9.根据权利要求7所述的自动换料机构，其特征在于，所述第二旋转单元为第二电机，所述第二电机的输出轴上设置有卡扣装置，所述卡扣装置用以固定料盘。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
