[实用新型]一种氮化硅膜制备装置

摘要

本实用新型公开了一种能够避免尾排管着火的氮化硅膜制备装置。该装置包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，硅片放置于石墨舟上，真空沉积室上设有进气口与排气口，所述排气口上连接有排放管，排放管末端连接有真空泵，真空泵的出口连接有尾排管，所述真空沉积室上设置有用于打开或关闭炉门的开关装置，所述真空泵的出口与尾排管之间设置有硅烷燃烧室。通过在真空泵的出口与尾排管之间设置硅烷燃烧室，使得尾气在硅烷燃烧室内将其含有的硅烷燃烧殆尽后再进入尾排管，进入尾排管的尾气由于不含有硅烷也就不会发生自燃，避免了尾排管经常着火的危险情况发生，安全性大大提高。适合在太阳能电池硅片加工设备领域推广应用。

主权项

一种氮化硅膜制备装置，包括设置有炉门(1)的真空沉积室(2)，真空沉积室(2)内设有石墨舟(3)，硅片放置于石墨舟(3)上，真空沉积室(2)上设有进气口(4)与排气口(5)，所述进气口(4)上连接有用于通入制程气体的进气管(6)，所述排气口(5)上连接有排放管(8)，排放管(8)末端连接有真空泵(9)，真空泵(9)的进口与排放管(8)的出口相连，真空泵(9)的出口连接有尾排管(10)，所述真空沉积室(2)上设置有用于打开或关闭炉门(1)的开关装置(11)，其特征在于：所述真空泵(9)的出口与尾排管(10)之间设置有硅烷燃烧室(13)。