[实用新型]一种分子束外延的材料生长原位监测装置有效
| 申请号： | 201420697736.4 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN204417643U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 李宝吉;赵勇明;季莲;陆书龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;杨林 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种分子束外延的材料生长原位监测装置，其中，包括激光光源模块、接收模块、数据处理模块和分子束外延腔体，所述分子束外延腔体内设置有用于监测的样品，所述激光光源模块用于发射光束照射所述样品，经样品反射后形成反射光束，被所述接收模块接收，所述数据处理模块与接收模块连接，用于处理反射光束携带的信息。本实用新型提供的一种分子束外延的材料生长原位监测装置具有结构简单、采集信息准确、计算误差小以及制造成本低的特点，同时，有效解决了国外产品中功能单一的问题，实现样品材料的多种信息监测与计算，极大地满足科研人员和本领域技术人员的使用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 材料 生长 原位 监测 装置 | ||
【主权项】：
一种分子束外延的材料生长原位监测装置，其特征在于，包括激光光源模块(10)、接收模块(20)、数据处理模块(30)和分子束外延腔体(6)，所述分子束外延腔体(6)内设置有用于监测的样品(5)，所述激光光源模块(10)用于发射光束照射所述样品(5)，经样品(5)反射后形成反射光束，被所述接收模块(20)接收，所述数据处理模块(30)与接收模块(20)连接，用于处理反射光束携带的信息。
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