[实用新型]一种集成微垫片的MEMS可调光衰减器芯片有效
| 申请号： | 201420672263.2 | 申请日： | 2014-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN204454561U | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 王文辉;李四华;林沁;李维;施林伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市盛喜路科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G02B6/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区彩田路西红荔路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种具有集成微垫片的MEMS可调光衰减器芯片。该芯片包括硅衬底、可动结构、电极和微垫片，所述微垫片在电极和可动结构上方集成形成。本实用新型由于采用集成微垫片，减少了分离垫片粘合的步骤，避免了工作面或微小缺陷对可动结构的接触和阻碍，降低了封装工艺的难度，提高了器件封装效率及器件的可靠性。本实用新型通过利用SOI硅片，使得微垫片的厚度不再局限于分离垫片的可操作厚度。本实用新型通过采用与衰减器结构相同的材料或玻璃浆料形成垫片，可进一步提高器件的热稳定性和整体器件的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 垫片 mems 调光 衰减器 芯片 | ||
【主权项】：
一种集成微垫片的MEMS可调光衰减器芯片，其特征在于所述芯片包括衬底、可动结构、电极和微垫片，所述微垫片在电极和可动结构上方集成形成。
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