[实用新型]光伏电池用透明导电膜的生产装置

摘要

提供了一种光伏电池用透明导电薄膜的生产装置，包括设于在热玻璃板的移动带上方两套化学气相反应器，形成薄膜材料的反应性气态前驱物从所述两套化学气相反应器的入口进入，其中所述化学气相反应器包括温度传感器，当在一定温度范围内的所述热玻璃表面发生沉积反应，从而得到氧化锡掺杂氟透明导电氧化物薄膜。根据本实用新型的生产装置工艺简单，采用合适的气态前驱物在移动的热玻璃表面沉积了氧化锡掺杂氟透明导电氧化物薄膜(FTO)，得到的FTO透明导电膜具有高透过率、高电导率以及自身绒面结构的特点，在非晶硅(a-Si:H)薄膜太阳能电池中应用极广。

主权项

一种光伏电池用透明导电膜的生产装置，其特征在于，包括设于在热玻璃板的移动带上方两套化学气相反应器，以及由所述两套化学气相反应器形成的入口，形成薄膜材料的反应性气态前驱物从所述两套化学气相反应器的入口进入，其中所述化学气相反应器包括温度传感器，当在一定温度范围内的所述热玻璃表面发生沉积反应，从而得到氧化锡掺杂氟透明导电氧化物薄膜。