[实用新型]光伏电池用透明导电膜的生产装置

权利要求书

1.一种光伏电池用透明导电膜的生产装置，其特征在于，包括设于在热玻璃板的移动带上方两套化学气相反应器，以及由所述两套化学气相反应器形成的入口，形成薄膜材料的反应性气态前驱物从所述两套化学气相反应器的入口进入，其中所述化学气相反应器包括温度传感器，当在一定温度范围内的所述热玻璃表面发生沉积反应，从而得到氧化锡掺杂氟透明导电氧化物薄膜。

2.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于，所述第一化学气相反应器的入口中通入的是氧化硅的气态前驱物与载气的混合气体，或是氧化硅的气态前驱物与其它反应性气体和载气的混合气体。

3.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于，所述第二化学气相反应器的入口中通入的是氧化锡的气态前驱物与其它反应性气体和载气的混合气体。

4.根据权利要求2或3所述的生产装置，其特征在于，所述载气是氦气，氮气之类的惰性气体。

5.根据权利要求2所述的生产装置，其特征在于，所述氧化硅的气态前驱物的化学式为R_uO_vSi_m，其中R为直链或支链或环烷基，u＝3～8,v＝0～4,m＝1～4，所述其它反应性气体包括氧化锡的气态前驱物或是气化的其它有机金属醇盐，水蒸气，路易斯酸，或亚磷酸三乙酯。

6.根据权利要求5所述的生产装置，其特征在于，所述氧化锡的气态前驱物的化学式为R_nSnCl_4-n，其中R为直链或支链或环烷基，n＝0,1或2。

7.根据权利要求3所述的生产装置，其特征在于，所述其它反应性气体包括氟的气态前驱物，水蒸气，低级链烷醇，或乙酸乙酯。

8.根据权利要求7所述的生产装置，其特征在于，所述氟的气态前驱物包括三氟乙酸，氢氟酸，三氟化磷，或氟化等。

9.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于，所述热玻璃板的温度控制在400～700℃范围内。