[实用新型]一种摇臂式硅片蚀刻装置

摘要

本实用新型的一种摇臂式硅片蚀刻装置，包括蚀刻槽和防酸花篮，蚀刻槽上方固定有步进电机，步进电机驱动连接有横向的凸轮转动机构，凸轮转动机构上转动连接有L形的挂臂，挂臂底部设置有开口向上的卡槽；防酸花篮可拆卸连接有n形的悬挂把手，悬挂把手顶部边框与卡槽相配合；凸轮转动机构包括内外两个相对的限位圆盘，内限位圆盘内侧设置有与步进电机的驱动轴相连接的主偏心轴，内限位圆盘与外限位圆盘之间连接有副偏心轴。本实用新型的有益效果是：本实用新型采用步进电机带动凸轮转动机构转动，进而带动防酸花篮在蚀刻槽内上下左右运动，保证蚀刻槽中混酸液温度的均匀，从而免去了操作人员的重复劳动，节省了人力。

主权项

一种摇臂式硅片蚀刻装置，包括蚀刻槽和防酸花篮，其特征在于：所述蚀刻槽上方固定有步进电机，所述步进电机驱动连接有横向的凸轮转动机构，所述凸轮转动机构上转动连接有L形的挂臂，所述挂臂底部设置有开口向上的卡槽；所述防酸花篮可拆卸连接有n形的悬挂把手，所述悬挂把手顶部边框与卡槽相配合；所述凸轮转动机构包括内外两个相对的限位圆盘，内限位圆盘内侧设置有与步进电机的驱动轴相连接的主偏心轴，内限位圆盘与外限位圆盘之间连接有副偏心轴。