[实用新型]硅片自动吹片装置

摘要

本实用新型涉及硅片自动吹片装置，包括一个支架,支架上部固定连接风管，支架上设置有高度调节螺丝，风管通过气管与节流阀连接，节流阀通过气管与电磁阀连接，电磁阀与PLC中央控制单元电连接，真空传感器和往复传感器均与PLC中央控制单元电连接。风管采用均匀分布打孔的不锈钢管，便于气流分散，减小对硅片冲击力。调节高度调节螺丝可以调节风管位置，适用于不同类别的硅片。增加自动吹片，能够有效地解决因人员，气枪，及吹片方法不稳定因素所带来的问题。确保设备正常运行，减少因人员因素吹片造成的碎片及隐裂片，降低碎片率；避免因气枪气压冲击对硅片造成的损伤，减少隐裂片；减少生产过程中人员吹片设备的待机时间，提高产能。而且能减少员工工作负担。

主权项

硅片自动吹片装置，包括一个支架（1）,支架（1）上部固定连接风管（2），支架（1）上设置有高度调节螺丝（3），风管（2）通过气管（10）与节流阀（4）连接，节流阀（4）通过气管（9）与电磁阀（5）连接，电磁阀（5）与PLC中央控制单元（6）电连接，真空传感器（7）和往复传感器（8）均与PLC中央控制单元（6）电连接。