[实用新型]硅片自动吹片装置有效

专利信息
申请号: 201420341641.9 申请日: 2014-06-25
公开(公告)号: CN204088275U 公开(公告)日: 2015-01-07
发明(设计)人: 陈彬;蒋科;李南明;魏秀萍 申请(专利权)人: 上饶光电高科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 江西省专利事务所 36100 代理人: 杨志宇
地址: 334100 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 硅片 自动 装置
【说明书】:

技术领域

 本实用新型涉太阳能电池制造领域,特别是涉及一种扩散设备R2D自动倒片机硅片扩散完成后的硅片自动吹片装置。

背景技术

随着现代工业的发展,全球能源危机和大气污染问题日益突出,太阳能作为理想的可再生能源受到了许多国家的重视。由于不可再生能源的减少和环境污染的双重压力,使得光伏产业迅猛发展,太阳电池的发展也日新月异。磷扩散是太阳能电池片制作PN结所必须的一道工序,目前这道工序所采用的技术是热扩散技术。扩散设备R2D自动倒片机硅片扩散完成后,背靠背硅片会吸附在一起,需要人员用气枪将两片连在一起的硅片吹散开。生产过程中,操作人员需停机才能进行吹片作业,这样产能会减小。在手动吹片过程中,人员很难每次都精准地控制气枪的气压及气流量,不是吹不开就是会造成隐裂片甚至碎片;气枪本身的气流集中的特点也会对硅片形成冲击造成隐裂片及碎片;吹片方法比如吹气对准硅片的位置也会对吹片效果造成影响。

发明内容

本实用新型的目的是针对上述的不足和缺陷,提供一种硅片自动吹片装置,能确保设备正常运行,降低碎片率,减小隐裂片,提高产能。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:

硅片自动吹片装置,包括一个支架,支架上部固定连接风管,支架上设置有高度调节螺丝,风管通过气管与节流阀连接,节流阀通过气管与电磁阀连接,电磁阀与PLC中央控制单元电连接,真空传感器和往复传感器均与PLC中央控制单元电连接。

硅片自动吹片装置,其中:风管采用均匀分布打孔的不锈钢管,便于气流分散,减小对硅片冲击力。

硅片自动吹片装置,其中:调节高度调节螺丝可以调节风管位置,适用于不同类型的硅片。 

本实用新型的优点是:增加自动吹片,能够有效地解决因人员,气枪,及吹片方法不稳定因素所带来的问题。确保设备正常运行,减少因人员因素吹片造成的碎片及隐裂片,降低碎片率;避免因气枪气压冲击对硅片造成的损伤,减少隐裂片;减少生产过程中人员吹片设备的待机时间,提高产能。而且能减少员工工作负担。

附图说明

图1是本实用新型硅片自动吹片装置的结构示意图。

附图标记:支架1、风管2、高度调节螺丝3、节流阀4、电磁阀5、PLC中央控制单元6、真空传感器7、往复传感器8、气管9、气管10。

具体实施方式

实施例1、硅片自动吹片装置,包括一个支架1,支架1上部固定连接风管2,支架1上设置有高度调节螺丝3,风管2通过气管10与节流阀4连接,节流阀4通过气管9与电磁阀5连接,电磁阀5与PLC中央控制单元6电连接,真空传感器7和往复传感器8均与PLC中央控制单元6电连接。

实施例2、硅片自动吹片装置,其中:风管2采用均匀分布打孔的不锈钢管,便于气流分散,减小对硅片冲击力。

实施例3、硅片自动吹片装置,其中:调节高度调节螺丝3可以调节风管2位置,适用于不同类型的硅片。

本实用新型硅片自动吹片装置的工作原理:

真空传感器7和往复传感器8收集信号,并把信号传送到PLC中央控制单元6,PLC中央控制单元6处理信号后发出信号到电磁阀5,进而控制节流阀4,完成吹片作业。

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