[实用新型]硅片承载盘

摘要

一种硅片承载盘，包括一个顶部和底部具有开口的箱型主体，该主体的两侧壁相对布置并沿竖直方向设置有固定间距的齿条，主体的第一端壁及第二端壁均设置为平板形，侧壁的下底部设置有锥形支脚，该锥形支脚上对应开设有放置硅片用的锥形齿，第一端壁表面向外延伸形成有延长部，该延长部上开有供人的手指插入的孔部；锥形齿与侧壁之间设置有与锥形齿间的空隙相匹配的防震件。使用时，操作人员将手指自上而下插入上述孔部中，指关节与延长部上方的第一端壁相抵，即可将承载盘提起并移动至合适的位置，上述结构的设置为承载盘的移动提供了便利；在将硅片放入承载盘的过程中，防震件减小了硅片滑入承载盘底部时的冲力，有效降低了硅片的破损率。

主权项

一种硅片承载盘，包括一个顶部和底部具有开口的箱型主体(1)，该主体(1)的两侧壁相对布置并沿竖直方向设置有固定间距的齿条(11)，所述主体(1)的第一端壁(12)及第二端壁(13)均设置为平板形，所述侧壁的下底部设置有锥形支脚(14)，该锥形支脚(14)上对应开设有放置硅片用的锥形齿(141)，其特征在于：所述第一端壁(12)表面向外延伸形成有一延长部(15)，该延长部(15)上开有供人的手指插入的孔部(151)；所述锥形齿(141)与相应侧壁之间设置有与锥形齿(141)间的空隙相匹配的防震件(2)。