[实用新型]硅片承载盘有效

专利信息
申请号: 201420230329.2 申请日: 2014-05-07
公开(公告)号: CN203787401U 公开(公告)日: 2014-08-20
发明(设计)人: 竺峰;赵国成 申请(专利权)人: 宁波富星太阳能有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 代理人: 景丰强
地址: 315032 浙*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 硅片 承载
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片制造技术领域,具体指一种硅片承载盘。

背景技术

太阳能硅片的生产过程中需要用液体和气体对硅片承载盘内的硅片浸泡洗涤,所使用的化学洗液含有强酸、强碱等腐蚀性液体,为了能够抵挡上述化学洗液的侵蚀,一般硅片承载盘采用四氟乙烯-全氟烷基醚共聚物注射而成,但此种原料成本高,熔体粘度较大加工困难,且对生产设备腐蚀严重,需要使用专门的设备进行注射,导致其产品的成品率、生产效率低下,价格昂贵。为了解决这一问题,授权公告号为CN1303664C的中国发明专利《硅片承载器》(申请号:200410101211.0)披露了一种使用聚偏氟乙烯树脂注射成型的承载盘,该承载盘包括一个顶部和底部具有开口的箱型主体,该主体的两侧壁相对布置并包含有固定间距的齿条,该主体的两端壁一个设置为H形,一个设置为平板形,上述两侧壁的下底部设置有锥形支脚,并在锥形支脚上对应开设有放置硅片用的锥形齿,采用上述结构的承载盘,可以方便方形硅片顺利进出,制造材料价格合理,在一定程度上降低了生产成本,但是,由于承载盘上没有设置专门的提放部件,导致操作人员在将盛满硅片的承载盘移动时易滑脱,造成硅片破损;另一方面,在将上述承载盘单独作为硅片放置容器使用时,由于用于放置硅片的锥形齿设置于侧壁底部,在将硅片放入承载盘的过程中易因冲力作用而造成硅片破损。

因此,对于目前的硅片承载盘,仍有待于做进一步的改进。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的现状,提供一种便于移动的硅片承载盘。

本实用新型所要解决的另一个技术问题是针对现有技术的现状,提供一种具有防震功能的硅片承载盘。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种硅片承载盘,包括一个顶部和底部具有开口的箱型主体,该主体的两侧壁相对布置并沿竖直方向设置有固定间距的齿条,所述主体的第一端壁及第二端壁均设置为平板形,所述侧壁的下底部设置有锥形支脚,该锥形支脚上对应开设有放置硅片用的锥形齿,其特征在于:所述第一端壁表面向外延伸形成有延长部,该延长部上开有供人的手指插入的孔部;所述锥形齿与侧壁之间设置有与锥形齿间的空隙相匹配的防震件。

作为本实用新型的进一步改进,所述第一端壁上延长部的上方开有一与承载盘的顶部开口相通的第一口部,采用该结构,以便于操作者从第一口部处将承载盘中的硅片取出。

更进一步的,所述第一端壁上延长部的下方开有一与承载盘的底部开口相通的第二口部,所述第二端壁上开有一长、宽分别小于第二端壁的长、宽的第三口部,第二口部及第三口部的开设为承载盘节约了制造材料,降低了承载盘的生产成本。

作为优选,所述防震件包括一弹性主体,该弹性主体上均匀的间隔成型有多个凸起,硅片插入承载盘内时恰好与上述凸起相抵,以缓冲硅片在滑入承载盘底部时的冲力,有效降低了硅片的破损率。

与现有技术相比,由于本实用新型在第一端壁的表面设置了延长部,并在该延长部上开设有供人的手指插入的孔部,使用时,操作人员将手指自上而下插入上述孔部中,指关节与延长部上方的第一端壁相抵,即可将承载盘提起并移动至合适的位置,上述结构的设置为承载盘的移动提供了便利;在锥形齿与侧壁之间设置有与锥形齿间的空隙相匹配的防震件,在将硅片放入承载盘的过程中,防震件减小了硅片滑入承载盘底部时的冲力,有效降低了硅片的破损率。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图;

图2为图1中防震件的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波富星太阳能有限公司,未经宁波富星太阳能有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420230329.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top