[实用新型]一种用于晶棒装卸的多功能机械手

摘要

本实用新型涉及晶体生长炉领域，旨在提供一种用于晶棒装卸的多功能机械手。该用于晶棒装卸的多功能机械手包括水平移动装置、竖直移动装置、夹持装置和底座。本实用新型可夹持不同规格的晶棒，如6英寸和8英寸的圆棒和方棒；夹持可靠，定位精度高；夹持晶棒长度分布范围广，可夹持700mm以内所有晶棒；载重量大，载重量高达100Kg；所有动作由程序自动控制，不需人工参与，适用于单晶硅棒流水线加工车间的全自动控制。

主权项

一种用于晶棒装卸的多功能机械手，包括水平移动装置、竖直移动装置、夹持装置和底座，其特征在于，所述水平移动装置包括水平导轨安装座、水平导轨、水平滑块、水平丝杆、水平移动驱动电机、同步带和同步带轮；水平导轨安装座水平固定在底座上，水平导轨设有两根，且两根水平导轨对称安装在水平导轨安装座上；水平丝杆与水平导轨平行设置，且位于两根水平导轨中间，水平丝杆的头部与水平移动驱动电机连接，水平移动驱动电机的输出端安装有一个同步带轮，水平丝杆的尾部也安装有一个同步带轮，两个同步带轮通过同步带相连；水平滑块共设有四个，在两根水平导轨上分别各安装有两个；所述竖直移动装置包括水平移动滑座、水平丝杆螺母座、竖直电机安装座、竖直导轨、竖直滑块、竖直丝杆、竖直移动驱动电机、竖直联轴器、竖直滑板和竖直丝杆螺母座；竖直滑板垂直固定在竖直丝杆螺母座上，竖直导轨设有两根，且对称安装在竖直滑板上；竖直滑块设有四块，对称固定在水平移动滑座上，水平移动滑座通过竖直滑块安装在竖直导轨上，使竖直滑块在两根竖直导轨上分别各安装有两个；水平丝杆螺母座固定在水平移动滑座上，用于实现竖直移动装置与水平移动装置连接，竖直电机安装座安装在水平移动滑座的上方，竖直移动驱动电机固定在竖直电机安装座上；竖直丝杆通过竖直丝杆螺母座安装在竖直滑板上，竖直移动驱动电机通过竖直联轴器与竖直丝杆相连；所述夹持装置包括手爪托架、夹持导轨安装板、夹持导轨、夹持滑块、手爪固定座、手爪、左旋丝杆、右旋丝杆、丝杆联轴器、夹持电机、夹持电机固定座、电机联轴器；夹持导轨安装板安装在手爪托架上，夹持导轨与夹持电机固定座安装在夹持导轨安装板上；夹持滑块设有三个，分别安装在夹持导轨上，手爪固定座和手爪各设有两个，分别为手爪A、手爪B、手爪固定座A和手爪固定座B，手爪固定座A固定在一个夹持滑块上，并使手爪固定座A与左旋丝杆的尾部相连，手爪固定座B固定在另外两个夹持滑块上，并使手爪固定座B与右旋丝杆相连，手爪A安装手爪固定座A上，手爪B安装在手爪固定座B上；夹持电机安装在夹持电机固定座上，夹持电机输出轴通过电机联轴器与右旋丝杆的头部相连，右旋丝杆的尾部通过丝杆联轴器与左旋丝杆的头部相连；当夹持电机顺时针旋转，带动左旋丝杆和右旋丝杆顺时针旋转，左旋丝杆顺时针旋转，带动手爪安装座A和手爪A向右移动，右旋丝杆顺时针旋转，带动手爪安装座B和手爪B向左移动，实现手爪A与手爪B的夹持；当夹持电机逆时针旋转，带动左旋丝杆和右旋丝杆逆时针旋转，左旋丝杆逆时针旋转，带动手爪安装座A和手爪A向左移动，右旋丝杆逆时针旋转，带动手爪安装座B和手爪B向右移动，实现手爪A与手爪B的松开；夹持装置中的手爪托架与竖直移动装置中的竖直滑板相连，竖直移动装置中的水平移动滑座与水平移动装置中的水平滑块固定。