[实用新型]一种提升器和干法刻蚀系统

摘要

本实用新型公开了一种提升器，除了包括本体和底座，还包括：支撑杆、支撑头、定位环、弹性件和接触环；本体安装在底座上；支撑杆穿过本体，支撑杆上端设置支撑头，支撑头的下端与本体的顶部之间有活动空间，支撑杆穿过设置于底座上的定位环，且支撑杆的底部设置有接触环，定位环与接触环之间设置有弹性件。上述提升器由于在本体中间设置有支撑杆，由于定位环和接触环之间设置有弹性件，支撑杆以及支撑杆上端的支撑头未被压缩时，支撑头与本体之间具有一定活动空间；当支撑头受到基板的重力而下降时，定位环随着支撑杆向下运动而位置下降，弹性件被压缩，接触环的位置也下降，能及时检测出基板的偏移或损坏，避免基板和下部电极受损坏。

主权项

一种提升器，包括本体和底座，其特征在于，还包括：支撑杆、支撑头、定位环、弹簧和接触环； 所述本体安装在所述底座上； 所述支撑杆穿过所述本体，所述支撑杆上端设置所述支撑头，所述支撑头的下端与所述本体的顶部之间有活动空间，所述支撑杆穿过设置于所述底座上的定位环，且所述支撑杆的底部设置有接触环，所述定位环与所述接触环之间设置有弹性件。