[实用新型]具有温度测试功能的ICP 刻蚀机有效
| 申请号： | 201420013256.1 | 申请日： | 2014-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN203690252U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 罗建华;贺波亮;陈起伟;李斌;张潮;封龙刚 | 申请（专利权）人： | 西安神光安瑞光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 倪金荣 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有温度测试功能的ICP刻蚀机，主要解决了现有ICP刻蚀机无法侦测铝托盘的具体温度，从而导致晶圆加工不稳定，影响蚀刻速率和选择比的问题。该具有温度测试功能的ICP刻蚀机包括铝托盘，所述铝托盘上设置有用于侦测铝托盘实时温度的温度测试装置。该ICP刻蚀机在原有ICP刻蚀机卡盘装置的基础上增加用于侦测温度的装置，从而准确的掌握铝托盘的实际温度，并通过冰机设置合理的温度以满足冷却的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 温度 测试 功能 icp 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种具有温度测试功能的ICP刻蚀机，包括铝托盘，其特征在于：所述铝托盘上设置有用于侦测铝托盘实时温度的温度测试装置。
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