[发明专利]激光结晶系统及其晶化能量控制方法在审
| 申请号： | 201410837007.9 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN104465345A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王志刚;李子健;唐丽娟;李勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/268 | 分类号： | H01L21/268 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种激光结晶系统及其晶化能量控制方法，所述激光结晶系统包括：Mura监控设备，用于监控晶化过程中的实时Mura状况；主机台，与所述Mura监控设备相连接，用于判断所述Mura监控设备监控得到的实时Mura状况的实时级别，并根据所述实时级别生成晶化能量控制指令；结晶设备，与所述主机台相连接，用于执行所述主机台生成的所述晶化能量控制指令以控制所输出的晶化能量。本发明实施例利用Mura监控设备实时地在线监控Mura的状况，根据实时Mura状况控制结晶设备输出的晶化能量。本发明能够实现对产品的Mura状况的有效监控，进而控制对应的晶化能量，相比于人工的方式，有效地提高了工作效率，且能够保证精确度和在线控制，保证产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 结晶 系统 及其 能量 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种激光结晶系统，其特征在于，所述激光结晶系统包括：Mura监控设备，用于监控晶化过程中的实时Mura状况；主机台，与所述Mura监控设备相连接，用于判断所述Mura监控设备监控得到的实时Mura状况的实时级别，并根据所述实时级别生成晶化能量控制指令；结晶设备，与所述主机台相连接，用于执行所述主机台生成的所述晶化能量控制指令以控制所输出的晶化能量。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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