[发明专利]激光结晶系统及其晶化能量控制方法

权利要求书

1.一种激光结晶系统，其特征在于，所述激光结晶系统包括：

Mura监控设备，用于监控晶化过程中的实时Mura状况；

主机台，与所述Mura监控设备相连接，用于判断所述Mura监控设备监控得到的实时Mura状况的实时级别，并根据所述实时级别生成晶化能量控制指令；

结晶设备，与所述主机台相连接，用于执行所述主机台生成的所述晶化能量控制指令以控制所输出的晶化能量。

2.根据权利要求1所述的激光结晶系统，其特征在于，所述主机台包括：

存储模块，用于存储Mura状况的实时级别与所述晶化能量控制指令的一一对应关系的对应表；

判断模块，用于根据所述Mura监控设备监控得到的实时Mura状况从所述存储模块查找相对应级别的晶化能量控制指令。

3.根据权利要求2所述的激光结晶系统，其特征在于，所述判断模块，还用于判断所述实时Mura状况的实时级别是否达到预设阈值，且在判断到小于所述预设阈值时，不执行生成晶化能量控制指令的过程，使得所述结晶设备保持原有的晶化能量输出级别。

4.一种激光结晶系统的晶化能量控制方法，其特征在于，所述晶化能量控制方法包括：

通过Mura监控设备监控晶化过程中的实时Mura状况；

判断所述Mura监控设备监控得到的实时Mura状况的实时级别，并根据所述实时级别生成晶化能量控制指令；

执行所述晶化能量控制指令以控制所输出的晶化能量。

5.根据权利要求4所述的晶化能量控制方法，其特征在于，所述晶化能量控制方法还包括：

存储Mura状况的实时级别与所述晶化能量控制指令的一一对应关系的对应表；

所述根据所述实时级别生成晶化能量控制指令的步骤，具体包括：

根据所述Mura监控设备监控得到的实时Mura状况从所述对应表中查找相对应级别的晶化能量控制指令。

6.根据权利要求5所述的晶化能量控制方法，其特征在于，所述判断所述Mura监控设备监控得到的实时Mura状况的实时级别的步骤，还包括：

判断所述实时Mura状况的实时级别是否达到预设阈值，且在判断到小于所述预设阈值时，不执行生成晶化能量控制指令的过程，使得保持原有的晶化能量输出级别。