[发明专利]一种线阵相机姿态标定装置和方法有效

专利信息
申请号: 201410828168.1 申请日: 2014-12-29
公开(公告)号: CN105809652B 公开(公告)日: 2019-07-23
发明(设计)人: 戴乐薇;张鹏黎;杨晓青 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G06T7/80 分类号: G06T7/80;G01N21/88;H01L21/66
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开一种线阵相机姿态标定装置,包括:一光源,用于提供光束照射标记板;一对准标记,所述对准标记位于所述标记板表面,所述对准标记至少为2个;一线阵相机,所述线阵相机根据光照所述对准标记的成像,确定所述线阵相机相对于所述标记板的安装偏差,其特征在于,所述对准标记的几何外形的横向尺寸X与纵向尺寸Y具有唯一线性关系。
搜索关键词: 一种 相机 姿态 标定 装置 方法
【主权项】:
1.一种线阵相机姿态标定装置,其特征在于,包括:一光源,用于提供光束照射标记板;一对准标记,所述对准标记位于所述标记板表面,所述对准标记至少为2个;所述对准标记的几何外形的X向数值随Y向数值线性单向变大或变小;一线阵相机,所述线阵相机根据光束照射所述对准标记所得到的成像,确定所述线阵相机相对于所述标记板的安装偏差,校准所述线阵相机的位置并使所述标记板保持静态;所述对准标记的几何外形的横向尺寸X与纵向尺寸Y具有唯一线性关系。
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