[发明专利]压印装置与制造物品的方法有效
| 申请号： | 201410749326.4 | 申请日： | 2014-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN104698743B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 新井刚;三田裕 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供压印装置与制造物品的方法，所述压印装置在基板上形成图案，所述压印装置包括：供给单元，其包括排出压印材料的排出口，并且被构造为经由所述排出口将所述压印材料供给到所述基板上；以及生成单元，其被构造为通过利用软X射线照射远离所述模具与所述基板之间的第一空间的第二空间，来生成离子，其中，所述排出口和所述生成单元被布置为夹着所述模具的侧面，并且通过向所述第一空间供给在所述第二空间中生成的所述离子，来去除所述第一空间中的电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 压印装置 第一空间 排出口 基板 第二空间 生成单元 制造物品 模具 离子 软X射线照射 供给单元 压印材料 电荷 排出压 去除 图案 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种压印装置，其在保持基板上的压印材料与模具接触的状态下，利用光进行照射以固化所述压印材料，并且将所述模具与所述固化的压印材料分离，从而在所述基板上形成图案，所述压印装置包括：供给单元，其包括排出所述压印材料的排出口，并且被构造为将所述压印材料供给到所述基板上；生成单元，其被构造为通过软X射线对远离包括所述模具与所述基板之间的压印位置的空间的空间的照射，来生成离子；以及气体供给单元，其被构造为向远离包括所述压印位置的空间的空间供给气体，使得通过气体将离子供给到包括所述压印位置的空间，其中，所述排出口和所述生成单元被布置为夹着所述模具的侧面，并且所述排出口被布置在所述软X射线不直接照射的位置。
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