[发明专利]一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺

摘要

公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺，该氩气充填工艺程序包括：关闭高真空阀后关闭扩散泵，若真空度1小时后高于10^-2Pa，开启高真空阀，保持24小时后，关闭高真空阀，开始填充氩气至真空度为10Pa，保持6小时后继续填充氩气至真空度为1000Pa，保持6小时后即可打开长晶设备；若真空度1小时后低于10^-2Pa时，开始填充氩气至真空度为9x10^-1Pa后停止；保持12小时后，继续填充氩气至真空度为100Pa后停止；保持12小时后，继续填充氩气至真空度为1000Pa；保持六小时后填充氩气至大气压后打开长晶设备。利用本发明能减少晶体在后退火过程中的开裂，将后退火时间缩短12小时，提高了生产效率。

主权项

一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺，所述的长晶设置上设置连接管，所述的连接管连接高真空阀，所述的高真空阀连接离散泵，所述的离散泵用于在所述的长晶设备上生成高真空环境，所述的连接管上设置1/2英寸电磁阀和真空计，所述的1/2英寸电磁阀连接1/2英寸计量阀，所述的1/2英寸计量阀通过软管连接1/2英寸球阀，所述的1/2英寸球阀连接氩气瓶，还包括进行集中控制的PLC控制器，所述的1/2英寸电磁阀、1/2英寸计量阀、真空计、离散泵和高真空阀与PLC控制器通过信号线连接和通信，其特征在于：所述的PLC控制器中集成了氩气充填工艺程序，所述的氩气充填工艺程序设置一下步骤：步骤一、人工打开所述的1/2英寸球阀；在所述的长晶设备的加热功率降为零以后12个小时，所述的PLC控制器关闭所述的高真空阀，之后再关闭所述的扩散泵，若所述的真空计的读数1小时后高于10^‑2Pa，执行步骤二；若所述的真空计的读数1小时后低于10^‑2Pa时，执行步骤三；步骤二、所述的PLC控制器开启所述的高真空阀，保持24小时后，关闭所述的高真空阀，打开所述的1/2英寸电磁阀开始填充氩气至真空度为10Pa，然后关闭所述的1/2英寸电磁阀；保持6小时后，打开所述的1/2英寸电磁阀，继续填充氩气至真空度为1000Pa，然后关闭所述的1/2英寸电磁阀；保持6小时后，即可打开所述的长晶设备；步骤三、所述的PLC控制器打开所述的1/2英寸电磁阀开始填充氩气至真空度为9x10^‑1Pa，关闭所述的1/2英寸电磁阀；保持12小时后，打开所述的1/2英寸电磁阀继续填充氩气至真空度为100Pa，关闭所述的1/2英寸电磁阀停止填充氩气；保持12小时后，打开所述的1/2英寸电磁阀继续填充氩气至真空度为1000Pa，关闭所述的1/2英寸电磁阀停止填充氩气；保持六小时后，打开所述的1/2英寸电磁阀填充氩气至大气压后，关闭所述的1/2英寸电磁阀并打开所述的长晶设备。