[发明专利]集成系统、集成系统操作方法以及膜处理方法

摘要

本发明公开了一种集成系统操作方法，该方法包括以下步骤：通过计量装置测量衬底的膜以获得膜信息。将衬底从计量装置移至邻近转移装置的工艺装置。将膜信息发送至工艺装置。根据膜信息对衬底施加膜处理。本发明还涉及集成系统以及膜处理方法。

主权项

1.一种集成系统，包括：端口，配置为接收衬底；工艺装置，用于对衬底施加膜处理；计量装置，直接邻近所述工艺装置以测量所述衬底的膜；以及转移装置，用于在所述端口、所述工艺装置和所述计量装置之间移动所述衬底，其中，所述转移装置在移动时到达所述端口、所述工艺装置和所述计量装置，所述转移装置进一步电连接至所述工艺装置和所述计量装置，并且配置为受所述工艺装置、所述计量装置以及电连接至所述工艺装置和所述计量装置的控制系统的控制以使所述衬底在所述工艺装置和所述计量装置之间移动；室，邻近所述工艺装置，并且所述转移装置和所述计量装置均容纳在所述室中。