[发明专利]半导体制程气体输送管道安装施工方法有效
| 申请号： | 201410667366.4 | 申请日： | 2014-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN104455722A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 胡笳;胡刚;夏葵;崔永祥;林吉勇;刘成;林雪梅 | 申请（专利权）人： | 成都市第三建筑工程公司;成都市工业设备安装公司 |
| 主分类号： | F16L1/024 | 分类号： | F16L1/024 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体制程气体输送管道安装施工方法，包括以下步骤：（1）在施工现场预设洁净区域，并搭建洁净空间；（2）对施工用器材进行复验，并对所有器材进行防污染密封封存；（3）在洁净空间内对管道进行分单元洁净式密闭加工，且加工完成立即密封管口；（4）安装输送管道，并在安装过程中和作业间隙期间持续通入保护气体；（5）按照等离子体加水洗处理系统的结构安装尾气管道；（6）安装气体装置，并采用径向面密封连接方式进行管道、气体装置的连接；（7）分别进行静电接地和室外防雷电感应接地系统安装；（8）分别进行压力检测、氦质谱检漏、水分检测、洁净度检测和氧份检测，直到全部合格；（9）进行尾气处理测试，直到合格。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 气体 输送 管道 安装 施工 方法 | ||
【主权项】：
半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，包括以下步骤：（1）在施工现场预设洁净区域，并搭建洁净空间；（2）对施工用器材进行复验，并对所有器材进行防污染密封封存；（3）在洁净空间内对管道进行分单元洁净式密闭加工，且加工完成立即密封管口；（4）安装输送管道，并在安装过程中和作业间隙期间持续通入保护气体；（5）按照等离子体加水洗处理系统的结构安装尾气管道；（6）安装气体装置，并采用径向面密封连接方式进行管道、气体装置的连接；（7）分别进行静电接地和室外防雷电感应接地系统安装；（8）分别进行压力检测、氦质谱检漏、水分检测、洁净度检测和氧份检测，直到全部合格；（9）进行尾气处理测试，直到合格。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都市第三建筑工程公司;成都市工业设备安装公司，未经成都市第三建筑工程公司;成都市工业设备安装公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410667366.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
