[发明专利]绿光LED外延层结构及生长方法有效
申请号: | 201410636516.5 | 申请日: | 2014-11-06 |
公开(公告)号: | CN104393132A | 公开(公告)日: | 2015-03-04 |
发明(设计)人: | 刘炜;赵德刚;陈平;刘宗顺;朱建军;江德生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/06;H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种绿光LED外延层结构及生长方法,其中绿光LED外延层结构,包括:一衬底,该衬底的材料为蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓或砷化镓;一GaN缓冲层,其生长在衬底上;一非掺杂GaN层,其生长在GaN缓冲层上;一N型GaN层,其生长在非掺杂GaN层上;一多量子阱区,其生长在N型GaN层上;一P型AlGaN层,其生长在多量子阱区上;一P型GaN层,其生长在P型AlGaN层上;一P型GaN盖层,其生长在P型GaN层上。本发明是通过提高MQW中空穴的注入效率和减小InGaN量子阱中的QCSE效应,实现绿光LED发光效率的提升。 | ||
搜索关键词: | led 外延 结构 生长 方法 | ||
【主权项】:
一种绿光LED外延层结构,包括:一衬底,该衬底的材料为蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓或砷化镓;一GaN缓冲层,其生长在衬底上;一非掺杂GaN层,其生长在GaN缓冲层上;一N型GaN层,其生长在非掺杂GaN层上;一多量子阱区,其生长在N型GaN层上;一P型AlGaN层,其生长在多量子阱区上;一P型GaN层,其生长在P型AlGaN层上;一P型GaN盖层,其生长在P型GaN层上。
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