[发明专利]晶圆尺寸可在线调整的预对准装置

摘要

本发明涉及自动化控制技术领域，具体公开一种晶圆尺寸可在线调整的预对准装置。本发明包括：预对准机，控制板，偏心计算模块，缺口位置计算模块，机械手晶圆补偿模块；偏心计算模块，用于计算所述预对准机上晶圆偏心角；缺口位置计算模块，用于确定晶圆缺口；机械手晶圆补偿模块，用于根据偏心角及缺口信息，求得晶圆补偿量；控制板根据所述机械手晶圆补偿模块的补偿量控制所述机械手对晶圆进行补偿，并调整CCD位置。本发明利用检测设置改变CCD的位置，适应直径200及直径300两种晶圆，解决以往预对准机无法兼容不同大小晶圆的问题，实现一台机器传送不同大小晶圆的功能，晶圆切换的同时，算法也随之切换以保证圆心及缺口计算的准确性。 1

主权项

1.一种晶圆尺寸可在线调整的预对准装置，其特征在于，包括：预对准机，控制板，偏心计算模块，缺口位置计算模块，机械手晶圆补偿模块，CCD；所述偏心计算模块，用于计算所述预对准机上晶圆偏心角；所述缺口位置计算模块，用于确定晶圆缺口；所述机械手晶圆补偿模块，用于根据偏心角及缺口信息，求得晶圆补偿量；所述控制板根据所述机械手晶圆补偿模块的补偿量控制所述机械手对晶圆进行补偿，并调整CCD位置；所述补偿采用标定获得，所述标定包括坐标系相对方向标定单元和坐标系相对位置标定单元。