[发明专利]力检测装置、机器人以及电子部件输送装置

摘要

本发明提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。

主权项

1.一种力检测装置，其特征在于，具备：第一基部；第二基部；第一压电元件，被所述第一基部与所述第二基部夹持，并对施加于所述第一基部与所述第二基部的外力进行检测；以及第二压电元件，被所述第一基部与所述第二基部夹持，并对施加于所述第一基部与所述第二基部的外力进行检测，所述第一基部包含固定于测量对象的第一安装面，所述第二基部包含固定于测量对象的第二安装面，所述第一压电元件和所述第二压电元件分别具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，所述第一基板与所述第二基板被平行地层叠，在所述第一基板与所述第二基板的层叠方向，所述第一基板的x轴与所述第二基板的x轴交叉，所述第一基板的z轴与所述第二基板的z轴交叉，所述第一压电元件和所述第二压电元件分别被设置为所述第一安装面或者所述第二安装面的法线与所述层叠方向正交，所述第一压电元件和所述第二压电元件不相互配置于同一平面上，且不相互配置为平行。