[发明专利]晶圆测试探针台及其测试方法

摘要

本发明公开了一种晶圆测试探针台，用于对待测晶圆进行自动测试，包括控制器、模拟输入装置以及模拟输入控制装置；模拟输入控制装置用于接收晶圆测试指令，并根据晶圆测试指令获取待测晶圆的数据信息；数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息；模拟输入控制装置还用于控制模拟输入装置自动将数据信息输出给控制器；控制器用于接收模拟键盘输出的数据信息，并根据测试数据信息对探针台进行初始化以及参数配置后对待测晶圆进行测试；控制器还用于获取测试结果并将测试结果存储在待测晶圆的产品数据信息中。上述晶圆测试探针台具有测试效率高且不易出错的优点。还提供一种晶圆测试方法。

主权项

一种晶圆测试探针台，用于对待测晶圆进行自动测试，其特征在于，包括控制器、模拟输入装置以及模拟输入控制装置；所述模拟输入装置分别与所述控制器、所述模拟输入控制装置连接；所述模拟输入控制装置用于接收晶圆测试指令，并根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息；所述数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息；所述模拟输入控制装置还用于控制所述模拟输入装置自动将所述数据信息输出给所述控制器；所述控制器用于接收所述模拟键盘输出的数据信息，并根据所述测试数据信息对所述探针台进行初始化以及参数配置后对所述待测晶圆进行测试；所述控制器还用于获取测试结果并将所述测试结果存储在所述待测晶圆的产品数据信息中。