[发明专利]晶圆测试探针台及其测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种晶圆测试探针台及其测试方法。

背景技术

在集成电路的制备过程中，晶圆测试是必不可少的一个过程。图1为晶圆测试系统(CircuitProbing，CP)的典型结构。探针台(Prober)是实现晶圆测试的关键设备，它承载晶圆并根据每个独立的管芯(Die)的大小作为步长做周期移动，保证每个待测管芯都能和探针卡良好接触。传统的晶圆测试探针台在测试过程中，所有的数据如产品名称、产品批次等均需要通过键盘面板人工手动进行输入，速度慢使得测试效率较低，且容易出错。

发明内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种测试效率高且不易出错的晶圆测试探针台。

还提供一种晶圆测试方法。

一种晶圆测试探针台，用于对待测晶圆进行自动测试，包括控制器、模拟输入装置以及模拟输入控制装置；所述模拟输入装置分别与所述控制器、所述模拟输入控制装置连接；所述模拟输入控制装置用于接收晶圆测试指令，并根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息；所述数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息；所述模拟输入控制装置还用于控制所述模拟输入装置自动将所述数据信息输出给所述控制器；所述控制器用于接收所述模拟键盘输出的数据信息，并根据所述测试数据信息对所述探针台进行初始化以及参数配置后对所述待测晶圆进行测试；所述控制器还用于获取测试结果并将所述测试结果存储在所述待测晶圆的产品数据信息中。

在其中一个实施例中，所述晶圆测试指令包含有唯一标识所述待测晶圆的标识符；所述标识符与所述待测晶圆的数据信息具有一一对应的关系。

在其中一个实施例中，所述标识符为厂内批次号。

在其中一个实施例中，所述控制器根据所述晶圆测试指令获取待待测晶圆的数据信息具体为，所述控制器根据所述数据信息中的标识符向生产管理系统获取所述待测晶圆的数据信息。

在其中一个实施例中，所述产品数据信息包括产品名称、产品批次以及产品片号；所述测试数据包括针对所述待测晶圆的探针台启动参数配置文件的网络路径和配置参数文件名。

在其中一个实施例中，还包括手动输入装置，与所述控制器连接，用于手动输入所述数据信息给所述控制器。

在其中一个实施例中，所述模拟输入装置为模拟键盘，所述手动输入装置为矩阵式键盘。

一种晶圆测试方法，用于对待测晶圆进行自动测试，包括以下步骤：获取晶圆测试指令；根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息；所述数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息；通过模拟输入装置将所述数据信息自动输入到控制器；根据所述测试数据信息对探针台进行初始化以及参数配置后进行晶圆测试；获取测试结果并将测试结果存储到所述产品数据信息中。

在其中一个实施例中，所述根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息的步骤具体为：根据所述晶圆测试指令向生产管理系统获取待测晶圆的数据信息。

在其中一个实施例中，所述晶圆测试指令包含有唯一标识所述待测晶圆的标识符；所述标识符与所述待测晶圆的数据信息具有一一对应的关系。

上述晶圆测试探针台，通过设置的模拟输入装置可以在模拟输入控制装置的控制下对所有数据进行自动输入，大大提高了输入效率且降低了出错率，有利于实现整个生产系统的无人化操作。

附图说明

图1为传统的晶圆测试系统的典型结构；

图2为一实施例中的晶圆测试探针台的结构框图；

图3为另一实施例中的晶圆测试探针台的结构框图；

图4为一实施例中的晶圆测试方法的流程图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

图2所示为一实施例中的晶圆测试探针台的结构框图。一种晶圆测试探针台用于对待测晶圆进行自动测试，包括控制器210、模拟输入装置220以及模拟输入控制装置230。其中，模拟输入装置220分别与控制器210以及模拟输入控制装置230连接。