[发明专利]一种掩模与基底六自由度对准装置有效
| 申请号： | 201410607056.3 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104331116A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 李金龙;胡松;赵立新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G05G13/00 | 分类号： | G05G13/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;贾玉忠 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩模与基底六自由度对准装置，含有掩模、掩模支架、弹性簧片、压簧片、压簧预紧、Y手轮、拉簧预紧、基底、基底支架、X手轮、基座、压紧螺钉；掩模支架为圆盘形状，用于承载掩模；弹性簧片具有内环及三个凸起，内环通过螺钉与掩模支架连接，三个凸起通过螺钉与基座凸面连接；压簧片一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端压在基底支架肩面上；压簧预紧与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；Y手轮包括Y1手轮及Y2手轮，与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；拉簧预紧一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端与基底支架通过螺钉连接。本发明结构紧凑，适用于空间狭小的环境，并可完成掩模与基底的六自由度高精度对准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基底 自由度 对准 装置 | ||
【主权项】：
一种掩模与基底六自由度对准装置，其特征在于：所述对准装置含有掩模、掩模支架、弹性簧片、压簧片、压簧预紧、Y手轮、拉簧预紧、基底、基底支架、X手轮、基座、压紧螺钉，其中：掩模支架为圆盘形状，用于承载掩模；弹性簧片具有内环及三个凸起，内环通过螺钉与掩模支架连接，三个凸起通过螺钉与基座凸面连接；压簧片一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端压在基底支架肩面上；压簧预紧与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；Y手轮包括Y1手轮及Y2手轮，与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；拉簧预紧一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端与基底支架通过螺钉连接；基底支架为凸字形结构具有基底支架肩面和基底支架顶面，基底支架位于基座滑移面上，基底支架顶面与基底固接使两者一起运动；X手轮与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；基座为圆柱形结构，含有基座凸面、基座支撑面、基座滑移面；压紧螺钉将弹性簧片与基座连接。
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