[发明专利]一种掩模与基底六自由度对准装置

权利要求书

1.一种掩模与基底六自由度对准装置，其特征在于：所述对准装置含有掩模、掩模支架、弹性簧片、压簧片、压簧预紧、Y手轮、拉簧预紧、基底、基底支架、X手轮、基座、压紧螺钉，其中：

掩模支架为圆盘形状，用于承载掩模；弹性簧片具有内环及三个凸起，内环通过螺钉与掩模支架连接，三个凸起通过螺钉与基座凸面连接；压簧片一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端压在基底支架肩面上；压簧预紧与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；Y手轮包括Y1手轮及Y2手轮，与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；拉簧预紧一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端与基底支架通过螺钉连接；基底支架为凸字形结构具有基底支架肩面和基底支架顶面，基底支架位于基座滑移面上，基底支架顶面与基底固接使两者一起运动；X手轮与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；基座为圆柱形结构，含有基座凸面、基座支撑面、基座滑移面；压紧螺钉将弹性簧片与基座连接。

2.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述掩模支架为圆盘形状，用于承载掩模。

3.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述弹性簧片具有内环及三个凸起，内环通过螺钉与掩模支架连接，三个凸起通过螺钉与基座凸面连接。

4.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述压簧片与基座支撑面通过螺钉连接，并对基底支架施加预压力。

5.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述压簧预紧与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切，用于提供基底支架X方向预压。

6.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述Y手轮包括Y1手轮及Y2手轮，与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切，用于调节基底支架的Y向移动及θz向转动。

7.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述拉簧预紧一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端与基底支架通过螺钉连接，用于提供基底支架Y向预压。

8.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述基底支架为凸字形结构具有基底支架肩面和基底支架顶面，基底支架位于基座滑移面上，基底支架顶面与基底固接使两者一起运动。

9.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述X手轮与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切，用于调节基底支架的X方向运动。

10.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述基座为圆柱形结构，含有基座凸面、基座支撑面、基座滑移面。

11.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述压紧螺钉将弹性簧片与基座连接，通过调整三个压紧螺钉可完成掩模的Z向升降及θ_x、θ_y向调平。