[发明专利]一种太阳能电池的背电极Mo薄膜及其制备方法

摘要

本发明属于光纤材料领域，提供了一种太阳能电池的背电极Mo薄膜及其制备方法，所述太阳能电池的背电极Mo薄膜制备方法，首先，选择普通玻璃（载玻片）、钠钙玻璃或不锈钢为基体，将其进行洁净处理，并采用高纯氮气吹干备用，其次，采用磁控溅射法在基体上沉积一层金属层，然后再在金属层沉积Mo薄膜。该制备方法简单、易于操作、可重复性强和可精确控制Mo薄膜的厚度，同时，该方法制备的Mo薄膜具有膜基结合力高、电导率低的优点。

主权项

一种太阳能电池的背电极Mo薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）基体的选择；（2）基体的清洗：将基体在丙酮、无水乙醇和去离子水中超声波中清洗，然后用高纯氮气吹干； （3）金属层的制备：采用直流电源、直流脉冲电源或射频电源，以金属Al为靶材，电流为0.5A‑2A，工作压强为1Pa‑5Pa，在所述基体上制备得到单一金属A1的金属层；或采用金属Al与Mo的合金靶溅射得到金属A1与Mo混合的金属层；或采用金属Al靶与Mo靶共溅射制备得到金属A1与Mo混合的金属层；（4）Mo薄膜的制备：采用直流电源、直流脉冲电源或射频电源在所述已镀有金属A1的金属层或金属A1与Mo混合的金属层的基体上沉积一层Mo薄膜，其中，Mo靶的靶电流为0.6A‑2A，工作压强为0.05Pa‑0.5Pa。