[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、聚合物及抗蚀剂图案形成方法

摘要

本发明的目的在于，提供能够获得良好图案形状、MEEF性能优异、不易产生牵丝等缺陷的放射线敏感性树脂组合物、和适合用于该放射线敏感性树脂组合物的聚合物、以及使用该放射线敏感性树脂组合物的图案形成方法；所述放射线敏感性树脂组合物含有：[A]具有选自分别以下式(1‑1)和(1‑2)表示的多个结构单元中的至少1种结构单元(Ⅰ)、且氟原子含量在5质量％以上的聚合物，[B]具有酸解离性基团、且氟原子含量低于5质量％的聚合物，以及[C]放射线敏感性酸产生剂。

主权项

1.一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有：[A]具有以下式(1‑2)表示的结构单元(Ⅰ)、且氟原子含量在5质量％以上的聚合物，[B]具有酸解离性基团、且氟原子含量低于5质量％的聚合物，以及[C]放射线敏感性酸产生剂；式(1‑2)中，R1为氢原子、碳原子数为1～4的烷基或者具有卤素原子的碳原子数为1～4的烷基；式(1‑2)中，R5为烷基；R6为烷基、烷氧基、酰基或者酰氧基；R6多个存在时，多个R6相同或不同；R6的氢原子的一部分或者全部可以被取代；e为1或者2；f为0～5的整数；[A]聚合物进一步具有以下式(2‑2)表示的结构单元(Ⅱ)；式(2‑2)中，R1为氢原子、碳原子数为1～4的烷基或者具有卤素原子的碳原子数为1～4的烷基；式(2‑2)中，R7为(g+1)价的连接基团；R8为氢原子或者1价的有机基团；R8多个存在时，多个R8相同或不同；Rf2和Rf3各自独立地为氢原子、氟原子或者碳原子数1～30的氟代烃基；其中，Rf2和Rf3两者不同时为氢原子；Rf2或Rf3多个存在时，多个Rf2和Rf3彼此相同或不同；g为1～3的整数，[A]聚合物进一步具有包含选自分别以下式(4‑1)和(4‑2)表示的多个基团中的至少1种基团的结构单元；式(4‑1)中，R41是被氟原子取代的碳原子数为1～10的烃基。