[发明专利]静电测试控片以及静电测试方法

摘要

本发明的静电测试控片以及静电测试方法中，提供的静电测试控片包括半导体衬底，以及有序排布于所述半导体衬底上的若干个静电测试单元，所述静电测试单元包括一层间电容结构，所述层间电容结构包括依次层叠于半导体衬底上的第一金属层、绝缘介质层以及第二金属层。所述层间电容结构可以存在电荷，并且击穿电压值会因此减小，测定和比较经过待测设备的喷头处理之前和之后的击穿电压特性，判断待测设备是否积累有静电荷。利用紫外光照射静电测试控片一段时间，静电测试单元存储的静电荷会与紫外光产生的光生载流子复合，因此，经过紫外光处理之后的静电测试控片可以继续进行静电测试。本发明的静电测试控片可以多次循环使用，节约成本，提高效率。

主权项

1.一种静电测试控片，其特征在于，包括：半导体衬底以及有序排布于所述半导体衬底上的若干个静电测试单元，每个所述静电测试单元包括一层间电容结构，所述层间电容结构包括依次层叠于所述半导体衬底的一第一金属层、一绝缘介质层和一第二金属层，其中，所述绝缘介质层部分覆盖所述第一金属层；所述静电测试单元还包括第一电极和第二电极、第一垫片和第二垫片，所述第一垫片和所述第二垫片分别与所述第一电极和所述第二电极电连接，所述第一电极和所述第二电极分别与所述第一金属层和所述第二金属层电连接，并且所述第一垫片与所述第二垫片之间用于施加电压，测试所述层间电容结构的击穿电压特性。