[发明专利]一种衬底可重复利用的大功率发光二极管外延结构有效
申请号: | 201410551438.9 | 申请日: | 2014-10-17 |
公开(公告)号: | CN104332535A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 林志伟;陈凯轩;张永;卓祥景;姜伟;杨凯;蔡建九;白继锋;刘碧霞 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/12;H01L33/02 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 廖吉保;唐绍烈 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开一种衬底可重复利用的大功率发光二极管外延结构,包括外延衬底、衬底保护层、氧化剥离层、外延保护层、金属反射层及外延发光结构;在外延衬底与外延发光结构之间设置氧化剥离层,氧化剥离层与外延发光结构之间设置外延保护层,氧化剥离层与外延衬底之间设置衬底保护层;在外延发光结构上设置金属反射层,在金属反射层上设置基板。本发明可以解决剥离二极管的外延衬底而导致外延层破损问题,从而可以重复利用衬底,节约成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 衬底 重复 利用 大功率 发光二极管 外延 结构 | ||
【主权项】:
一种衬底可重复利用的大功率发光二极管外延结构,其特征在于:包括外延衬底、衬底保护层、氧化剥离层、外延保护层、金属反射层及外延发光结构;在外延衬底与外延发光结构之间设置氧化剥离层,氧化剥离层与外延发光结构之间设置外延保护层,氧化剥离层与外延衬底之间设置衬底保护层;在外延发光结构上设置金属反射层,在金属反射层上设置基板。
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