[发明专利]一种软性主动矩阵有机发光二极管显示器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种软性主动矩阵有机发光二极管显示器及其制造方法。该制造方法包括：提供一刚性基板；依序形成第一缓冲层以及第二缓冲层于刚性基板的上方；形成第一气体阻隔层于第二缓冲层的上方；形成一塑料基板于第一气体阻隔层的上方；形成第二气体阻隔层于塑料基板的上方；以及采用激光剥离制程来移除刚性基板。相比于现有技术，本发明将诸如氮化硅、氧化硅、氮氧化硅或其它具有阻水功效的无机化合物作为气体阻隔层并且形成于塑料基板的上下两侧，从而可有效阻隔外部的水气进入塑料基板内部。本发明还在第一气体阻隔层的下方增设两个层叠的缓冲层，当使用激光剥离方式移除刚性基板时，这两个缓冲层作为激光牺牲层以确保塑料基板不被损伤。

主权项

一种软性主动矩阵有机发光二极管显示器的制造方法，该软性主动矩阵有机发光二极管显示器包括一阵列基板以及位于所述阵列基板上方的有机发光二极管，其特征在于，该制造方法包括以下步骤：提供一刚性基板；依序形成一第一缓冲层以及一第二缓冲层于所述刚性基板的上方；形成一第一气体阻隔层于所述第二缓冲层的上方；形成一塑料基板于所述第一气体阻隔层的上方；形成一第二气体阻隔层于所述塑料基板的上方，其中，所述第一气体阻隔层和所述第二气体阻隔层位于所述塑料基板的两侧，以阻止水气进入所述塑料基板；以及采用激光剥离制程移除所述刚性基板。