[发明专利]压阻式压力传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201410527030.8 | 申请日： | 2014-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104266781A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 李刚;胡维;吕萍 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压阻式压力传感器及其制造方法。所述压力传感器包括基片、键合在基片正面的第一层晶圆、以及形成在第一层晶圆和基片之间的真空腔体。所述基片具有衬底、设置在衬底正面的第一绝缘层和设置在第一绝缘层正面与第一层晶圆之间的可动敏感膜层。所述衬底形成有将可动敏感膜层背面向下暴露的背腔。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻式 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压阻式压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括基片、键合在基片正面的第一层晶圆、以及形成在第一层晶圆和基片之间的真空腔体，所述基片具有衬底、设置在衬底正面的第一绝缘层和设置在第一绝缘层正面与第一层晶圆之间的可动敏感膜层，所述衬底形成有将可动敏感膜层背面向下暴露的背腔。
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