[发明专利]存储元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种存储元件及其制造方法，存储元件包括多数个杯状电容器、底支撑层以及顶支撑层。杯状电容器位于衬底上。底支撑层配置于杯状电容器的多数个下侧壁之间的衬底上。顶支撑层配置于杯状电容器的多数个上侧壁周围。顶支撑层与底支撑层彼此之间具有空隙。顶支撑层包括周边支撑层与核心支撑层。周边支撑层配置在杯状电容器外围并与杯状电容器连接。核心支撑层配置在周边支撑层内。而且核心支撑层与周边支撑层相隔一间隙，其连接任意相邻的两个杯状电容器。

主权项

1.一种存储元件，其特征在于，包括：多数个杯状电容器，位于衬底上；底支撑层，配置于所述杯状电容器的多数个下侧壁之间的所述衬底上；以及顶支撑层，配置于所述杯状电容器的多数个上侧壁周围，与所述底支撑层彼此之间具有空隙，所述顶支撑层包括：周边支撑层，在所述杯状电容器外围并与所述杯状电容器连接；以及核心支撑层，在所述周边支撑层内，且与所述周边支撑层相隔一间隙，连接任意相邻的两个杯状电容器。