[发明专利]LPCVD炉管及其主阀联锁装置电路

摘要

本发明提供一种LPCVD炉管及其主阀联锁装置电路，该电路输入端接到真空检测仪，输出端对应到炉管的工艺终止部件；该电路采用双电源输入；该电路包括：第一电阻，一端接收真空检测信号；第二电阻和电位器，串联后接于正电源端和地端间，从中提供炉管预真空的设定数值对应的比较器的动作电压；比较器，正输入端接于第二电阻和电位器间，负输入端与第一电阻另一端连接；比较器还分别与正、负电源端连接；第三电阻，一端与比较器输出端连接；三极管，基极与第三电阻另一端连接，发射极接地；继电器，一端与三极管集电极连接，另一端与正电源端连接；第四电阻，一端与三极管集电极连接；状态显示元件，一端与第四电阻另一端连接，另一端与正电源端连接。

主权项

一种LPCVD炉管的主阀联锁装置电路(100)，其输入端连接到一真空检测仪，其输出端对应到所述LPCVD炉管的工艺终止部件；所述主阀联锁装置电路(100)采用双电源输入，即连接到一正电源端(C)和一负电源端(D)；所述主阀联锁装置电路(100)包括：第一电阻(121)，其一端连接所述真空检测仪，接收一真空检测信号；第二电阻(122)和电位器(143)，两者串联后连接于所述正电源端(C)和地端之间，用于从中提供所述LPCVD炉管的预真空的一设定数值所对应的下述比较器(101)的动作电压；比较器(101)，其正输入端连接于所述第二电阻(122)和所述电位器(143)之间，其负输入端与所述第一电阻(121)的另一端连接；所述比较器(101)还分别与所述正电源端(C)和所述负电源端(D)连接；第三电阻(123)，其一端与所述比较器(101)的输出端连接；三极管(103)，其基极与所述第三电阻(123)的另一端连接，其发射极接地；继电器(105)，其一端与所述三极管(103)的集电极连接，其另一端与所述正电源端(C)连接；第四电阻(124)，其一端与所述三极管(103)的集电极连接；以及状态显示元件(107)，其一端与所述第四电阻(124)的另一端连接，其另一端与所述正电源端(C)连接。