[发明专利]鳍状结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201410454915.X | 申请日： | 2014-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN105470295B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 沈文骏;傅思逸;吴彦良;刘家荣;洪裕祥;张仲甫;吕曼绫;陈意维 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种鳍状结构及其制造方法，该鳍状结构包含有一基底，具有一第一鳍状结构位于一第一区，以及一第二鳍状结构位于一第二区，其中第二鳍状结构包含一阶梯状的剖面结构部分。本发明也提供二种形成此鳍状结构的方法。例如，提供一基底，具有一第一鳍状结构以及一第二鳍状结构。接着，进行一处理制作工艺，将第二鳍状结构的顶部的一外表面改质，而形成一改质部。其后，进行一移除制作工艺，经由对于第一鳍状结构以及第二鳍状结构与对于改质部的高移除选择比，而移除改质部，因而形成具有一阶梯状的剖面结构部分的第二鳍状结构。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种鳍状结构，包含有：基底，具有第一鳍状结构，位于一第一区；以及第二鳍状结构，位于一第二区，其中该第二鳍状结构包含一阶梯状的剖面结构部分。
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