[发明专利]用于蓝宝石单晶炉的铆接式钨板加热器有效
申请号: | 201410447837.0 | 申请日: | 2014-09-04 |
公开(公告)号: | CN104195641B | 公开(公告)日: | 2017-02-01 |
发明(设计)人: | 李辉;姜宏伟;毛瑞川 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人: | 杨文晰,孙忠浩 |
地址: | 210000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种用于蓝宝石单晶炉的铆接式钨板加热器,包括(a)加热器至少包括三个环形均匀分布的独立加热单元,各独立加热单元的共用负极为钨环;(b)每个独立加热单元包括一个钨电极爪、弧形固定钨板、两片钨加热板和电极遮挡片,其中,钨电极爪的一端与弧形固定钨板的中部铆接,另一端设有电极遮挡片,两片钨加热板的一端与弧形固定钨板的两端弧面铆接,另一端与所述的钨环铆接;(c)各独立加热单元的钨电极爪自端部起的等距设有电极遮挡片;(d)正极与钨电极爪对接,负极与钨环对接;本发明有效提高温度场的均匀与稳定性,高效节能,可以大幅度提高晶体成品率。 | ||
搜索关键词: | 用于 蓝宝石 单晶炉 铆接 式钨板 加热器 | ||
【主权项】:
一种用于蓝宝石单晶炉的铆接式钨板加热器,其特征在于:加热器至少包括三个环形均匀分布的独立加热单元,各独立加热单元的共用负极为钨环;每个独立加热单元包括一个钨电极爪、弧形固定钨板、两片钨加热板和电极遮挡片,其中,钨电极爪的一端与弧形固定钨板的中部铆接,另一端设有电极遮挡片,两片钨加热板的一端与弧形固定钨板的两端弧面铆接,另一端与所述的钨环铆接;各独立加热单元的钨电极爪自端部起的等距设有电极遮挡片;正极与钨电极爪对接,负极与钨环对接。
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