[发明专利]清洗方法和清洗装置无效
| 申请号： | 201410408810.0 | 申请日： | 2011-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN104307780A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 广瀬治道 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子装置股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供清洗方法和清洗装置。在施加处理液来清洗被清洗物的清洗方法中，具有：第1步骤(S3)，对所述被清洗物施加包含微纳气泡或纳气泡等较小尺寸的气泡的第1处理液；以及第2步骤(S4)，在该第1步骤后，对附着有所述第1处理液的状态下的所述被清洗物施加第2处理液，该第2处理液包含比所述第1处理液所包含的气泡的尺寸大的微气泡等气泡，在利用第1处理液进行清洗后，利用包含比该第1处理液所包含的气泡的尺寸大的气泡的第2处理液进行清洗，所以，能够在使用利用了较小气泡的优良性质的第1处理液进行清洗后，使用利用了较大气泡的优良性质的第2处理液进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种施加处理液来清洗被清洗物的清洗方法，其中，该清洗方法具有：第1步骤，对所述被清洗物施加包含气泡的第1处理液；以及第2步骤，在该第1步骤后，对附着有所述第1处理液的状态下的所述被清洗物施加第2处理液，该第2处理液包含比所述第1处理液所包含的气泡的尺寸大的气泡，所述被清洗物在输送路径上被输送，与所述第1步骤相比在输送方向的下游侧进行所述第2步骤。
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