[发明专利]气路界面显示方法和系统有效
| 申请号： | 201410393050.0 | 申请日： | 2014-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN105446275B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李兰晓 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李芙蓉 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气路界面显示方法和系统，其中方法包括如下步骤：步骤S100，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；步骤S200，检测步长参数，当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中气体管路的位置以步长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中其他气体的气体管路信息。其通过在下位机工艺腔室的通道增加下位机通道，并读取下位机通道显示的所需气体种类数，减少了上位机存储并读取XML配置文件的空间和时间的浪费，有效解决了现有的气路界面边缘处的提示信息不能很好地起到提示作用的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 气体管路 下位机 气路 读取 界面显示 上位机 种类数 工艺腔室 均匀显示 控制气路 提示信息 通道显示 通道增加 位置显示 有效解决 边缘处 位机 预设 存储 提示 配备 检测 | ||
【主权项】：
1.一种气路界面显示方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S100，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；步骤S200，检测所述步长参数，当所述步长参数大于或等于预设值时，控制所述气路界面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔，均匀显示所述所需气体种类中其他气体的所述气体管路信息。
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