[发明专利]消除聚焦离子束扫描电镜成像时的景深假像的方法有效
| 申请号： | 201410392472.6 | 申请日： | 2014-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN104198766B | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王晓琦;金旭;李建明;孙亮;吴松涛 | 申请（专利权）人： | 中国石油天然气股份有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02;G01Q30/04;G01Q30/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧 |
| 地址： | 100007 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种消除聚焦离子束扫描电镜成像时的景深假像的方法，该方法包括：将多孔介质薄片在加热的景深消除剂中加压浸泡，得到具流体景深消除剂填充层的多孔介质薄片；对具流体景深消除剂填充层的多孔介质薄片进行处理，得到具固体景深消除剂填充层的多孔介质薄片；对具固体景深消除剂填充层的多孔介质薄片进行聚焦离子束扫描电镜成像。该方案由于得到具流体景深消除剂填充层的多孔介质薄片，并进行处理，得到具固体景深消除剂填充层的多孔介质薄片的过程，使得多孔介质薄片上开口尺寸较大、深度较浅的介孔及大孔被填充，大孔底部不被显示，减少了景深假像的存在，从而可以有效消除聚焦离子束扫描电镜成像时的景深假像。 | ||
| 搜索关键词： | 消除 聚焦 离子束 扫描电镜 成像 景深 方法 | ||
【主权项】：
一种消除聚焦离子束扫描电镜成像时的景深假像的方法，其特征在于，包括：获取多孔介质薄片；将所述多孔介质薄片在加热的景深消除剂中加压浸泡，得到具流体景深消除剂填充层的多孔介质薄片，所述景深消除剂是熔点大于35度的饱和烃类纯净物、熔点大于35度的烃类混合物或在预设条件下发生固化的胶粘剂；对所述具流体景深消除剂填充层的多孔介质薄片进行处理，得到具固体景深消除剂填充层的多孔介质薄片；对所述具固体景深消除剂填充层的多孔介质薄片进行聚焦离子束扫描电镜成像。
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