[发明专利]一种用于高真空的加热电阻材料的选择

摘要

本发明属于高纯度材料加热处理技术领域，尤其适用于薄膜生长的加热系统。本发明的内容是提供一种在高真空条件下可用作加热电阻的材料。该种材料是通过等静压法制作的热解石墨，该石墨可以承受800℃以上的高温。在高温下，该材料的出气速率低，完全可以保证腔室对高真空的要求。另外，该材料具有硬而不脆、密度较小的特点，使其非常易于加工和安装。此外，如果将常规的承载衬底用的金属载具也替换为该石墨，则可以利用石墨的高的导热性，最大程度的实现载具及载具之上的衬底的温度的均匀性，从而有利于生长出高质量的薄膜材料。

主权项

一种高纯度材料加热处理用腔室、尤其适用于薄膜生长的衬底加热系统的加热电阻材料的选择，不采用常规的钨片或钼片的加热电阻，最终选取等静压制作的石墨材料作为加热电阻材料；由于该石墨的较小的出气速率，可以保证在高温下腔室仍然可以达到高真空的要求；此外，该石墨材料硬而不脆、密度较小，非常有利于加工和安装。